出願番号 |
特願2006-535212 |
出願日 |
2005/9/9 |
出願人 |
国立大学法人 岡山大学 |
公開番号 |
WO2006/028295 |
公開日 |
2006/3/16 |
登録番号 |
特許第4882069号 |
特許権者 |
国立大学法人 岡山大学 |
発明の名称 |
ワークの表面状態検出方法及び表面状態検出装置 |
技術分野 |
機械・加工 |
機能 |
検査・検出 |
適用製品 |
ワークの表面状態検出出装置 |
目的 |
広範囲の測定対象物、特に導電性材全般に適応でき、いかなる動的状態においても外乱の影響を受けることなくインプロセスで表面粗さ及び/又は表面温度の変化量を検出することができ、さらに従来の方法では切断などの処理なしに表面粗さを測足することが不可能又は困難な測定対象面についても特別な処理なしに機上で表面粗さ及び/又は表面温度の変化量を正確且つ簡便に検出することができるワークの表面状態検出方法及びこれを好適に実施するための表面状態検出装置を提供する。 |
効果 |
測定用熱電対を被測定面に接触させることによって発生する熱起電力から被測産面の表面粗さ及び/又は表面温度の変化量を検出することができるから、検出環境の温度変化等の外乱に影響されることなく、ワークの表面加工面ないし表面処理面である被測定面の表面状態をインプロセス又はポストプロセスで高精度且つ簡便に検出することができる。特に、少なくとも被測定面が導電性を有するワークに対しては、検出をより効果的に行なうことができ、被測定面の表面粗さ及び/又は表面温度の変化量をリアルタイムでより正確に検出することができる。 |
技術概要
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測定用熱電対をワークの被測定面に対して接触させた状態で相対運動させて発生する熱電対の熱起電力を測定し、この熱起電力から、測定用熱電対と同一又は同種のデータ採取用熱電対を被測定面に対する場合と同一の接触条件及び相対運動条件で表面粗さ及び/又は表面温度が既知の基準面に接触させた状態で相対運動させて予め求めた熱起電力と表面粗さ及び/又は表面温度の変化量との相関関係データに基づいて、被測定面の表面粗さ及び/又は表面温度の変化量を求めるようにした。図に示すように、可動テーブル22に取り付けたワーク1を回転状態にし、送りモータで砥石23の切り込み量を調整しながら円筒研削を行う。この円筒研削中に熱電対42を一定の圧力でワーク1の回転研削面1aを押しつけて接触させることにより、熱電対42による熱起電力測定が行われる。その測定から得られた熱起電カデータと、既知の基準面に対してあらかじめ求めて記憶している熱起電力と表面粗さの相関関係に基づき、測定熱起電力に対応する表面粗さデータを表示部に出力し表示する。したがって、円筒研削などの機械加工を行いながらワーク1に対するインプロセス表面状態の測定を行うことができる。 |
実施実績 |
【試作】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【可】
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特許権実施許諾 |
【可】
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