| 新原理による、軟X線を用いた空気の浄化 |
| 対象空気に対し、軟X線を照射することにより空気中の微細な不純物を回収除去できるので、不純物のイオン化率及び回収率が非常に高く、従来のように、オゾンの発生がなく、処理ガスの除湿の必要もないため、空気浄化のためのランニングコストを安く出来る。 |
| ユーザー業界 | 概 要 |
 電気・電子 |
●半導体・液晶の製造 半導体・液晶の製造工場内の微細なチリを、効率よく浄化、回収できる。 |
| 関連特許 | ・なし |
 |
| 事業実績条件 |
・実施段階：試作品レベル ・技術導入時の技術指導の有無：詳細面談 ・ノウハウ提供：詳細面談 ・ライセンス制約条件について：特許権の譲渡可能、また、通常実施権の設定も可能 |
|
| 参考情報 | 本件技術に基づく除去装置は、新しい原理に基づく装置であり、幅広い用途に適用し得る。従って、中小企業にとって、更なる用途に応じた改良を加えれば、製造・販売が大いに可能と思われる。 |
