目的
プラズマ電極を適切に温度制御可能にし、効率よくイオンを取り出すことができるイオン発生装置を提供する。
効果
プラズマ電極を適切に温度制御可能にし、効率よくイオンを取り出すことができるイオン発生装置を提供することができる。
技術概要
表面生成法によりイオンビームを生成する形式のイオン発生装置であって、
放電ガスを収容する放電容器と、
前記放電容器の内部空間と当該放電容器の外部空間とを連通する複数のイオン引出孔を有するプラズマ電極と、
前記プラズマ電極の内部において前記複数のイオン引出孔の間を通るように配置された冷媒通路と、
前記冷媒通路に冷媒ガスを供給する冷媒供給手段とを備えた
イオン発生装置。
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