適用製品
電子顕微鏡の冷却試料ホルダ及びこれを用いた荷電粒子線装置
目的
応答速度の早い電子顕微鏡用の冷却試料ホルダ及びこれを用いた荷電粒子線装置を提供する。
効果
応答速度の早い電子顕微鏡の冷却試料ホルダを提供できる。冷却時の応答（素早く冷やしたり、温度を上げたりできる）も、従来装置との比較で、例えば１００倍から１０００倍程度良くなると共に、微細化することで廃熱が問題にならなくなる為、これまで不可能だった実験が可能になることが期待される。
技術概要
基板に設けられた試料載置領域と、
前記基板に設けられた熱電素子であって、前記試料載置領域を冷却する前記熱電素子と、
前記基板に設けられた給電用電極と、
前記熱電素子と前記給電用電極とを接続する手段と、
前記基板を電子顕微鏡の試料室に保持するホルダ筐体と、
を備える電子顕微鏡用冷却試料ホルダ。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
