目的
光と熱との間で変換を行うこと等に適した良好な光学応答を有するＮｉＡｌ膜を提供する。
効果
表面粗さの小さなＮｉＡｌ膜を使用することで、光学応答が良好で、高温の酸化性雰囲気への耐性を安定して発揮する光−熱変換器用材料及び光−電気変換器用材料を提供することができる。また、ＮｉＡｌ膜はその膜厚を薄くしても連続した膜としての形態を維持することができる。さらには、光−電変換器用材料としても有用である。その他、ＮｉＡｌ膜はその良好な光学応答や耐熱性を利用することで、各種の応用が可能である。また、その成膜方法や成膜条件を適宜選択することにより、光学応答を更に向上させることができる。
技術概要
ＮｉとＡｌとの原子比が１：１であり、（１１０）面が優先配向面であるとともに、表面の二乗平均平方根粗さが６ｎｍ以下である、ニッケルアルミニウム膜。
基本情報
開放特許情報
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