適用製品
接触電位および比誘電率の測定システムおよび測定方法
目的
既存の装置を活用して、接触電位および比誘電率を簡便に測定することが可能な測定システムおよび測定方法を提供する。
効果
既存のKP法用の装置を活用して、接触電位および比誘電率を簡便に測定することが可能な測定システムおよび測定方法が提供される。
技術概要
被測定試料とプローブ電極の間に可変電圧電源を電気的に接続し、前記被測定試料と前記プローブ電極との距離を周期的に変化させ、前記被測定試料と前記プローブ電極との間に流れる電流I↓1または前記電流I↓1を増幅したのちの信号電圧V↓1を測るケルビンプローブ測定方法を用いた測定方法であって、
前記電流I↓1または前記信号電圧V↓1が0になるときの、前記可変電圧電源による印加電圧Vにより接触電位V↓Cを求め、
前記可変電圧電源による印加電圧Vに対して前記信号電圧V↓1の振幅幅V↓(peaktopeak)が描く特性曲線の傾きαと、比誘電率ε′がわかっている材料からなる参照試料を前記特性曲線を得るのと同じ条件で測定した特性曲線の傾きα′を使用して、
ε=ε′×α/α′
から比誘電率εを求める、接触電位および比誘電率の測定の測定方法。