| 出願番号 |
特願2019-099115 |
| 出願日 |
2019/5/28 |
| 出願人 |
兵庫県公立大学法人 |
| 公開番号 |
特開2020-193855 |
| 公開日 |
2020/12/3 |
| 登録番号 |
特許第7280110号 |
| 特許権者 |
兵庫県公立大学法人 |
| 発明の名称 |
測定用基材及びその製造方法、並びに発光分光分析装置及び発光分光分析方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造、検査・検出 |
| 適用製品 |
測定用基材及びその製造方法、並びに発光分光分析装置及び発光分光分析方法 |
| 目的 |
測定のために用いる液量が少ない場合に、測定自身を可能にするだけではなく、その測定精度を高める工夫も実現する。 |
| 効果 |
レーザー光が照射されたときに少ない液量の該被測定対象が有する元素の発光線強度を高感度に検出し得る、測定用基材、発光分光分析装置、及び発光分光分析方法の提供に大きく貢献し得る。 |
技術概要
 |
少なくとも最上層にシリコン層が形成されている基材の前記シリコン層が、１ｎｍ以上１μｍ以下の開口幅の非貫通孔であって、深さを前記開口幅で除して得られるアスペクト比が３．５以上の該非貫通孔を含む多孔性の表面を有する、
前記非貫通孔の少なくとも一部を覆うように配置された被測定対象に対してレーザー光が照射されたときに該被測定対象が有する元素の発光線強度を測定するための、
測定用基材。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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