| 出願番号 |
特願2023-135783 |
| 出願日 |
2023/8/23 |
| 出願人 |
国立大学法人福井大学 |
| 公開番号 |
特開2025-030464 |
| 公開日 |
2025/3/7 |
| 発明の名称 |
デフレクトメトリによる計測対象物の変位および段差の計測方法およびその計測装置 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
デフレクトメトリによる計測対象物の変位または段差、回転角、傾き、形状の計測方法およびその計測装置 |
| 目的 |
結像型デフレクトメトリによる計測対象物の変位および段差の計測方法およびその計測装置を提供する。 |
| 効果 |
結像型デフレクトメトリによる計測対象物の変位および段差の計測方法およびその計測装置を提供できる。 |
技術概要
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第１の格子のパターンを計測対象物の表面もしくは表面近傍に結像させ、
前記表面もしくは表面近傍に結像した像を、計測対象物の表面の法線方向から傾斜した前記計測対象物の表面からの反射方向から、撮像手段で撮影し、
前記表面もしくは表面近傍に結像した像を撮影した画像に対して位相解析を行い、
前記計測対象物の表面の変位または段差、回転角、傾き、形状を計測する、計測方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)