銅−銅積層体の分離方法及び銅−銅積層体
- 開放特許情報番号
- L2026000124
- 開放特許情報登録日
- 2026/1/20
- 最新更新日
- 2026/1/20
基本情報
| 出願番号 | 特願2023-534776 |
|---|---|
| 出願日 | 2022/7/8 |
| 出願人 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2023/1/19 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 発明の名称 | 銅−銅積層体の分離方法及び銅−銅積層体 |
| 技術分野 | 機械・加工 |
| 機能 | 材料・素材の製造、その他 |
| 適用製品 | 銅−銅積層体の分離方法及び銅−銅積層体 |
| 目的 | 溶融体の分離及び除害などの中間処理に多大なコスト及び時間を要するという課題、いずれの方法も、プロセスの簡易性に欠けるという課題
を解決する。 |
| 効果 | 熱膨張係数の異なる物質を剥離層として導入できるため、簡易なプロセスで界面での物理的剥離が可能となる。
接合後の架橋層内部での金属酸化物ナノ結晶の生成を利用することで、固相分離性を発現し得る。固相分離性は、工業用冷凍庫で到達できる温度での冷却を用いることで接合プロセスに特別な手順を加えることなく、僅かなせん断応力の印加により発現し得る。 |
技術概要) |
第１の銅導体膜を接合面に有する第１の構造体と、
第２の銅導体膜を接合面に有する第２の構造体と、 前記第１の構造体と前記第２の構造体の接合面の間に、酸化銅（ＩＩ）のナノ結晶を含む架橋層とを有する銅−銅積層体の分離方法であって、 前記架橋層を酸化銅（ＩＩ）の磁気転移温度以下に冷却して、前記第１の構造体と前記第２の構造体の接合面を離間させる銅−銅積層体の分離方法。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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