電子顕微鏡及び測定試料の観察方法

開放特許情報番号

L2026000068

開放特許情報登録日

2026/1/14

最新更新日

2026/1/14

基本情報

出願番号	特願2018-031379
出願日	2018/2/23
出願人	国立大学法人　東京大学
公開番号	特開2019-144212
公開日	2019/8/29
登録番号	特許第7228869号
特許権者	国立大学法人　東京大学
発明の名称	電子顕微鏡及び測定試料の観察方法
技術分野	情報・通信、電気・電子
機能	機械・部品の製造、その他
適用製品	電子顕微鏡及び測定試料の観察方法
目的	非破壊で観察できる電子顕微鏡及び測定試料の観察方法を提供する。
効果	所定のエネルギーの光電子を通過させるエネルギースリットを備え、エネルギースリットを通過した光電子を電子ビーム検出器で検出するので、電子ビーム検出器で検出する電子のエネルギーを選択でき、特定の物質を選択的に観察できるので、測定試料の最表層より下部に存在する特定の物質も測定試料を破壊することなく観察でき、非破壊で観察することができる。
技術概要	ＣＷレーザーを生成するレーザー光源と、 前記ＣＷレーザーを測定試料に照射する照射レンズ系と、 前記ＣＷレーザーにより前記測定試料から放出された光電子をエネルギーごとに分離するエネルギー分析器と、 所定の前記エネルギーの前記光電子を通過させるエネルギースリットと、 前記エネルギースリットを通過した前記光電子を検出し、検出した前記光電子の強度に基づいて前記測定試料の画像を生成する電子ビーム検出器と、 前記測定試料から放出された前記光電子を前記エネルギー分析器に集束させる第１電子レンズ系と、 前記エネルギースリットを通過した前記光電子を前記電子ビーム検出器に投影する第２電子レンズ系と、 を備え、 前記エネルギースリットには、前記エネルギースリットの位置を移動させて、前記エネルギースリットを通過する前記光電子の前記エネルギーの帯域を変えるためのスリット移動機構が設けられている、電子顕微鏡。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者情報

登録者名称	国立大学法人東京大学

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【有】