微小熱伝導率測定装置及び測定方法

開放特許情報番号
L2026000010
開放特許情報登録日
2026/1/8
最新更新日
2026/1/8

基本情報

出願番号 特願2023-080591
出願日 2023/5/16
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2024-164891
公開日 2024/11/28
発明の名称 微小熱伝導率測定装置及び測定方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、その他
適用製品 測定装置
目的 試料厚さや物質の種類の違いによる吸熱量の変化に比較的影響を受けにくい温度波の位相計測を基にした新たなSTEM内熱輸送評価法を提供する。
効果 温度波位相法を用いて熱拡散率(α)を測定しているので、試料は測定したい組成からなる試料のみでよく、従来のように比較参照用の既知特性を有する組成を更に設ける必要がなくなり、試料の準備が簡便になる。
また、温度波位相法を用いて熱拡散率(α)を測定する場合には、試験片試料の形状は棒状試料でたり、測定試料の厚さや種類は気にしなく済む。
技術概要
試料に接触する熱電対と、
前記試料上の少なくとも一つの加熱点を、所定周波数(f)のパルス状の電子線を用いて、加熱する加熱装置と、
前記所定周波数のパルス状の電子線による加熱による前記接触点の温度上昇に応答した前記熱電対の出力を検出して、前記所定周波数による前記加熱点の加熱位置に対応する温度波の位相成分を計測する装置とを備え、
前記パルス状の電子線による温度波の位相成分(θ)を用いて、前記加熱点から前記試料上の前記熱電対の接触点までの距離(L)に基づいて、前記加熱点と前記接触点の間の熱拡散率(α)を次式により求める、微小熱伝導率測定装置。
α=πf/(θ/L)↑2
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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