| 出願番号 |
特願2023-098230 |
| 出願日 |
2023/6/15 |
| 出願人 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2024-179404 |
| 公開日 |
2024/12/26 |
| 発明の名称 |
ＭＥＭＳ素子、ＭＥＭＳ素子の製造方法、およびＭＥＭＳ素子の剛性を制御する方法 |
| 技術分野 |
機械・加工、金属材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造、制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
ＭＥＭＳ素子、ＭＥＭＳ素子の製造方法、ＭＥＭＳ素子の剛性を制御する方法 |
| 目的 |
高い圧縮強度を有し、かつ、薄膜状態において初期応力を制御可能な材料を用いてＭＥＭＳ素子の剛性を制御する方法、並びに、そのようにして剛性が制御されたＭＥＭＳ素子およびその製造方法を提供する。 |
| 効果 |
高い圧縮強度を有し、かつ、薄膜状態において初期応力を制御可能な材料を用いてＭＥＭＳ素子の剛性を制御する方法、並びに、そのようにして剛性が制御されたＭＥＭＳ素子およびその製造方法が提供される。 |
技術概要
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少なくとも１種類の遷移金属Ｍ１を含有する窒化物または炭窒化物からなる第１の薄膜と、少なくとも１種類の遷移金属Ｍ２を含有する窒化物または炭窒化物からなる第２の薄膜と、これらに挟まれたサスペンデッド構造体とを備え、前記第１の薄膜を構成する窒化物または炭窒化物の組成と前記第２の薄膜を構成する窒化物または炭窒化物の組成は同じであるかまたは異なることを特徴とするＭＥＭＳ素子。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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