光学定数測定装置および光学定数の計算方法

基本情報

出願番号	特願2021-539316
出願日	2020/8/14
出願人	国立大学法人　東京大学
公開番号	WO2021/029435
公開日	2021/2/18
登録番号	特許第7646210号
特許権者	国立大学法人　東京大学
発明の名称	光学定数測定装置および光学定数の計算方法
技術分野	情報・通信
機能	機械・部品の製造、その他
適用製品	光学定数の測定技術
目的	光学定数の測定精度の改善。
効果	高調波ベースの干渉計の精度を従来と比べて向上し、放射光ベースの干渉計と同等以上の精度を実現できる。
技術概要	光学定数測定装置であって、コヒーレント光を出力するコヒーレント光源と、回折された光を撮像するイメージセンサを含む分光器と、所定位置に配置される第１ダブルスリットと、第１ダブルスリットと置換して配置される第２ダブルスリットと、サンプルの光学定数を計算する演算処理装置と、を備え、モデルのパラメータおよびサンプルの光学定数を最適化し、サンプルの光学定数を取得することを特徴とする光学定数測定装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人東京大学