電子顕微鏡
- 開放特許情報番号
- L2025001748
- 開放特許情報登録日
- 2025/12/25
- 最新更新日
- 2025/12/25
基本情報
| 出願番号 | 特願2019-153258 |
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| 出願日 | 2019/8/23 |
| 出願人 | 国立大学法人 東京大学 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2021/3/1 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 国立大学法人 東京大学 |
| 発明の名称 | 電子顕微鏡 |
| 技術分野 | 情報・通信、電気・電子 |
| 機能 | 機械・部品の製造、その他 |
| 適用製品 | 電子顕微鏡 |
| 目的 | オペランド観察できる電子顕微鏡を提供する。 |
| 効果 | 素子部の第１電極又は第２電極の電位と、測定試料を載置するホルダの電位とを等電位にすることで、電子顕微鏡での測定試料の観察中に、電気特性測定回路により測定試料の素子部に印加する電圧又は流す電流を制御でき、電圧や電流を測定できる。そのため、測定試料の素子部を観察中に、素子部に電圧を印加する又は電流を流すことにより素子部の電気特性を変化させたり、電気特性を測定しつつ、電子顕微鏡にて測定試料を観察できるので、測定試料をオペランド観察できる。 |
技術概要) |
光又は放射線を測定試料に照射することで前記測定試料から出射した電子を検出し、検出した前記電子に基づいて前記測定試料の画像を生成する電子顕微鏡であって、
前記測定試料を載置するホルダと、 前記ホルダに接続され、前記測定試料に対して光電子を放出し易くする高電圧を印加する高圧電源と、 前記測定試料に含まれる素子部の第１電極と第２電極の間に電圧を印加する又は電流を流し、前記素子部の電気特性を変化させ前記電気特性を測定する電気特性測定回路と、 前記第１電極及び前記第２電極のいずれか一方の電位と、前記ホルダの電位とを等電位にする電位制御装置と を備える 電子顕微鏡。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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