半導体デバイスおよびその製造方法

開放特許情報番号
L2025001740
開放特許情報登録日
2025/12/25
最新更新日
2025/12/25

基本情報

出願番号 特願2021-556194
出願日 2020/11/13
出願人 国立大学法人 東京大学
公開番号 WO2021/095877
公開日 2021/5/20
登録番号 特許第7657459号
特許権者 国立大学法人 東京大学
発明の名称 半導体デバイスおよびその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 半導体デバイス
目的 p型領域を備えるSTO半導体デバイスの提供。
効果 STO半導体デバイス上にp型領域を形成できる。
技術概要
STO(SrTiO↓3)基板と、
前記STO基板上に形成され、所定のしきい値より小さい厚みを有する第1金属酸化膜と、
前記STO基板と前記第1金属酸化膜の界面に形成されるp型領域と、
を備えることを特徴とするSTO半導体デバイス。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2025 INPIT