| 出願番号 |
特願2023-071744 |
| 出願日 |
2023/4/25 |
| 出願人 |
国立大学法人 東京大学 |
| 公開番号 |
特開2024-157397 |
| 公開日 |
2024/11/7 |
| 発明の名称 |
冷却試料ステージ装置 |
| 技術分野 |
情報・通信、電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造、加熱・冷却 |
| 適用製品 |
冷却試料ステージ装置 |
| 目的 |
試料の冷却に適した冷却試料ステージ装置を提供する。 |
| 効果 |
試料台ユニットと冷却管との間を柔軟性を有する熱伝導線で熱的に接続したので、冷却する際の冷却管の振動等が試料台ユニットに伝播することを防止でき試料の冷却に適した構造にできる。 |
技術概要
 |
熱伝導性を有し、試料を保持する試料台ユニットと、
先端が前記試料台ユニットから離して配され、内部に形成された流路に冷媒を通すことにより先端が冷却される冷却管と、
熱伝導性と柔軟性を有し、一端が前記試料台ユニットに他端が前記冷却管の先端に固定されて前記試料台ユニットと前記冷却管の先端とを熱的に接続した複数の熱伝導線で構成される熱接続部と
を備えることを特徴とする冷却試料ステージ装置。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)