走査型イオンコンダクタンス顕微鏡

開放特許情報番号
L2025001159
開放特許情報登録日
2025/10/21
最新更新日
2025/10/21

基本情報

出願番号 特願2023-028942
出願日 2023/2/27
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 特開2024-121700
公開日 2024/9/6
発明の名称 走査型イオンコンダクタンス顕微鏡
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 走査型イオンコンダクタンス顕微鏡
目的 時間分解能が高い走査型イオンコンダクタンス顕微鏡を提供する。
効果 時間分解能が高い走査型イオンコンダクタンス顕微鏡を提供できる。
技術概要
電解質液に対象物が浸された試料と内部にプローブ電極が設けられた計測用のプローブとのZ方向の距離を変化させるように構成されたZスキャナーと、
プローブ電極と前記プローブ外の電解質液との間を流れる電流を計測するように構成された微小電流計測器と、
微小電流計測器の出力信号を処理するフィルター部と、
フィルター部から出力された信号に基づいて、ホッピングモードでZスキャナーの動作を制御するように構成された制御装置と
を備え、
制御装置は、プローブを対象物へと近づけるときのアプローチ速度を第1速度より速い速度として、Zスキャナーにプローブを動作させることができるように構成されており、
フィルター部は、アプローチ速度が第1速度より速いときに、出力信号に対して所定の遮断周波数よりも低い信号を逓減させるバンドパスフィルター又はハイパスフィルターで処理した信号を出力するように構成されており、
制御装置は、フィルター部から出力された信号に基づいて、プローブの先端と対象物とが近接したか否かを判定するように構成されており、
第1速度は、100nm/ms以上である、
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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