イオン発生装置、およびイオン取り出し方法

基本情報

出願番号	特願2022-201524
出願日	2022/12/16
出願人	国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
公開番号	特開2024-086413
公開日	2024/6/27
発明の名称	イオン発生装置、およびイオン取り出し方法
技術分野	電気・電子
機能	機械・部品の製造、その他
適用製品	イオン発生装置、およびイオン取り出し方法
目的	簡単な構成で効率よくイオンを取り出すことができるイオン発生装置、およびイオン取り出し方法を提供する。
効果	簡単な構成で効率よくイオンを取り出すことができるイオン発生装置、およびイオン取り出し方法を提供できる。
技術概要	真空中に導入したガスからイオンビームを生成するチャンバーと、前記チャンバーから射出されるイオンビームの射出方向の外周を取り囲むように筒状に形成された高電圧体と、前記高電圧体の内側に配置され、前記チャンバーから射出されるイオンビームが内部を通過する筒状の第１電極と、前記高電圧体の内側であって、前記第１電極に対し前記射出方向に離間して配置され、前記第１電極を通過したイオンビームが内部を通過する第２電極を備えたイオン発生装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構