顕微計測方法及び顕微計測装置
- 開放特許情報番号
- L2025000722
- 開放特許情報登録日
- 2025/6/16
- 最新更新日
- 2025/6/16
基本情報
出願番号 | 特願2023-147113 |
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出願日 | 2023/9/11 |
出願人 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 |
公開番号 | |
公開日 | 2025/3/24 |
発明の名称 | 顕微計測方法及び顕微計測装置 |
技術分野 | 情報・通信 |
機能 | 機械・部品の製造、検査・検出 |
適用製品 | 顕微計測方法及び顕微計測装置 |
目的 | 試料の深さ方向について、化学相などの物性の分布を評価する。 |
効果 | 試料の深さ方向について、化学相などの物性の分布を評価することができる。 |
技術概要![]() |
放射光γ線ビームを面直方向から試料に照射する照射工程と、
複数のエネルギー領域の各々について、前記放射光γ線ビームを照射された試料から生じる内部転換電子のうち、そのエネルギー領域に属する内部転換電子を計数する計数工程と、 前記複数のエネルギー領域の各々に対応する深さにおける前記試料の物性を、前記計数工程における計数結果に基いて評価する評価工程と、を含んでいる、 顕微計測方法。 |
実施実績 | 【無】 |
許諾実績 | 【無】 |
特許権譲渡 | 【否】 |
特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
登録者名称 | |
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その他の情報
関連特許 |
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