顕微計測方法及び顕微計測装置

基本情報

出願番号	特願2023-147113
出願日	2023/9/11
出願人	国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
公開番号	特開2025-040288
公開日	2025/3/24
発明の名称	顕微計測方法及び顕微計測装置
技術分野	情報・通信
機能	機械・部品の製造、検査・検出
適用製品	顕微計測方法及び顕微計測装置
目的	試料の深さ方向について、化学相などの物性の分布を評価する。
効果	試料の深さ方向について、化学相などの物性の分布を評価することができる。
技術概要	放射光γ線ビームを面直方向から試料に照射する照射工程と、複数のエネルギー領域の各々について、前記放射光γ線ビームを照射された試料から生じる内部転換電子のうち、そのエネルギー領域に属する内部転換電子を計数する計数工程と、前記複数のエネルギー領域の各々に対応する深さにおける前記試料の物性を、前記計数工程における計数結果に基いて評価する評価工程と、を含んでいる、顕微計測方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構