顕微計測方法及び顕微計測装置

開放特許情報番号
L2025000722
開放特許情報登録日
2025/6/16
最新更新日
2025/6/16

基本情報

出願番号 特願2023-147113
出願日 2023/9/11
出願人 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
公開番号 特開2025-040288
公開日 2025/3/24
発明の名称 顕微計測方法及び顕微計測装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 顕微計測方法及び顕微計測装置
目的 試料の深さ方向について、化学相などの物性の分布を評価する。
効果 試料の深さ方向について、化学相などの物性の分布を評価することができる。
技術概要
放射光γ線ビームを面直方向から試料に照射する照射工程と、
複数のエネルギー領域の各々について、前記放射光γ線ビームを照射された試料から生じる内部転換電子のうち、そのエネルギー領域に属する内部転換電子を計数する計数工程と、
前記複数のエネルギー領域の各々に対応する深さにおける前記試料の物性を、前記計数工程における計数結果に基いて評価する評価工程と、を含んでいる、
顕微計測方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2025 INPIT