| 出願番号 |
特願2013-028769 |
| 出願日 |
2013/2/18 |
| 出願人 |
東京応化工業株式会社 |
| 公開番号 |
特開2014-157310 |
| 公開日 |
2014/8/28 |
| 登録番号 |
特許第6087655号 |
| 特許権者 |
東京応化工業株式会社 |
| 発明の名称 |
現像液、及び感光性樹脂組成物の現像処理方法 |
| 技術分野 |
化学・薬品、電気・電子、有機材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
ポリイミドフィルム |
| 目的 |
現像マージンを大きくすることができ、現像工程においてポリイミド系樹脂膜の膜厚が減少しにくく、安全性の高いポリイミド前駆体用現像液、このポリイミド前駆体用現像液を用いた感光性ポリイミド樹脂組成物の現像処理方法、及びこの現像処理方法を用いたパターン形成方法を提供すること |
| 効果 |
現像マージンを大きくすることができ、現像工程においてポリイミド系樹脂膜の膜厚が減少しにくく、安全性の高いポリイミド前駆体用現像液、このポリイミド前駆体用現像液を用いた感光性ポリイミド樹脂組成物の現像処理方法、及びこの現像処理方法を用いたパターン形成方法を提供することができる。 |
技術概要
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現像マージンが大きく、膜厚減少を抑え、安全性の高いポリイミド前駆体用現像液、その現像処理方法、パターン形成方法を提供する。現像液はテトラメチルウレアと低級アルコールを含み、感光性ポリイミド前駆体を選択的に露光・現像してパターンを形成する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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