研磨スラリーの製造方法及び研磨スラリー

基本情報

出願番号	特願2022-180756
出願日	2022/11/11
出願人	国立大学法人　熊本大学
公開番号	特開2024-070339
公開日	2024/5/23
発明の名称	研磨スラリーの製造方法及び研磨スラリー
技術分野	電気・電子、機械・加工、化学・薬品
機能	材料・素材の製造
適用製品	研磨スラリーの製造方法及び研磨スラリー
目的	化学機械研磨において、簡易な構成でありながら、被加工物の研磨能率を向上させることが可能な研磨スラリーの製造方法及び研磨スラリーを提供する。
効果	化学機械研磨において、簡易な構成でありながら、被加工物の研磨能率を向上させることができる。
技術概要	研磨砥粒と溶媒を混合した混合物にオゾンガスを供給するオゾンガス供給工程と、前記オゾンガス供給工程中に、前記混合物を加熱する加熱工程を備える研磨スラリーの製造方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人熊本大学