露光装置

基本情報

出願番号	特願2023-133756
出願日	2023/8/21
出願人	学校法人東京電機大学
公開番号	特開2025-029242
公開日	2025/3/6
発明の名称	露光装置
技術分野	情報・通信
機能	機械・部品の製造
適用製品	露光装置
目的	柱状又は筒状を含む複雑形状の立体構造物の外面の全周に一括して露光可能な露光装置を提供する。
効果	柱状又は筒状を含む複雑形状の立体構造物の外面の全周に一括して露光可能な露光装置を提供できる。
技術概要	スペックル光を用いて被露光物を露光する露光装置であって、コヒーレント光を発する光源と、前記光源の光軸上に配置し、内面に散乱物質が塗布または配置された中空球体と、前記中空球体の中に、感光性物質が塗布された被露光物を保持可能な被露光物保持部と、を備える、露光装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	東京電機大学