| 出願番号 |
特願2021-177084 |
| 出願日 |
2021/10/29 |
| 出願人 |
株式会社東レリサーチセンター |
| 公開番号 |
特開2023-066470 |
| 公開日 |
2023/5/16 |
| 登録番号 |
特許第7610498号 |
| 特許権者 |
株式会社東レリサーチセンター |
| 発明の名称 |
透過型電子顕微鏡による評価方法 |
| 技術分野 |
有機材料、無機材料 |
| 機能 |
検査・検出、表面処理 |
| 適用製品 |
単一の有機材料、複数の有機材料で構成される試料、有機材料と無機材料の混合試料 |
| 目的 |
超薄切片法、FIB法、あるいはイオンミリング法によって薄膜化した試料をダメージ層の発生を抑制しつつ、更なる薄膜化を行う方法を提供する。 |
| 効果 |
TEM観察用として薄膜化した試料を、ダメージ層の発生を抑制しつつ更なる薄膜化を行うことが可能である。またTEM測定において入射電子線の試料中での多重散乱の影響を抑制することが可能である。 |
技術概要
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TEM観察用として超薄切片法、集束イオンビーム（以下、FIB）法、あるいはイオンミリング法によって薄膜化した試料について、TEM観察用メッシュごとガラス基板等に貼り付けた状態でガスクラスターイオンビーム（以下GCIB）を照射して更なる薄膜化処理をし、TEM測定を行う。 |
| 実施実績 |
【試作】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
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| 特許権実施許諾 |
【可】
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