電子顕微鏡、電子－光子相関測定装置、及び電子－光子相関測定方法

基本情報

出願番号	特願2023-505557
出願日	2022/3/7
出願人	国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号	WO2022/191152
公開日	2022/9/15
登録番号	特許第7740731号
特許権者	国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称	電子顕微鏡、電子－光子相関測定装置、及び電子－光子相関測定方法
技術分野	電気・電子
機能	機械・部品の製造
適用製品	電子顕微鏡、電子－光子相関測定装置、及び電子－光子相関測定方法
目的	高い空間分解能を有する電子顕微鏡を提供する。
効果	高い空間分解能を有する電子顕微鏡が提供される。
技術概要	試料に電子を照射する電子銃と、前記試料に照射された前記電子を検出する電子検出器と、前記電子が前記試料に照射されたときに前記試料から放出される光子を検出する光子検出器と、前記電子検出器が前記電子を検出した時間と、前記光子検出器が前記光子を検出した時間とに基づいて、検出された前記光子ごとに、前記電子が前記試料に照射された時間と前記光子が前記試料から放出された時間との時間差を演算し、前記時間差の分布を示す電子－光子時間相関を演算する演算器と、を備える、電子顕微鏡。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人科学技術振興機構