研磨方法および研磨装置

基本情報

出願番号	特願2022-154804
出願日	2022/9/28
出願人	国立大学法人九州工業大学
公開番号	特開2024-048729
公開日	2024/4/9
発明の名称	研磨方法および研磨装置
技術分野	機械・加工、電気・電子
機能	機械・部品の製造
適用製品	研磨方法および研磨装置
目的	省電力化や小型化が可能であり、局所的な研磨も行いやすい研磨方法および研磨装置を提供する。
効果	省電力化や小型化が可能であり、局所的な研磨も行いやすい研磨方法および研磨装置が提供される。
技術概要	ベースと被研磨物とを、前記ベースと非接着な研磨素材粒子を介して接触させつつ、縦波発生手段から前記ベースに縦波を供給し前記研磨素材粒子を振動させて、前記被研磨物の前記研磨素材粒子と接触する側の表面を研磨する研磨方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人九州工業大学