Ｘ線回折測定方法およびＸ線回折測定装置

基本情報

出願番号	特願2022-125870
出願日	2022/8/5
出願人	国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
公開番号	特開2023-169846
公開日	2023/11/30
発明の名称	Ｘ線回折測定方法およびＸ線回折測定装置
技術分野	情報・通信
機能	その他
適用製品	Ｘ線回折測定方法およびＸ線回折測定装置
目的	微小結晶粒の安定的なＸ線回折測定を実現する。
効果	微小結晶粒の安定的なＸ線回折測定を実現できる。
技術概要	基板の基板面上に配置される複数の微小結晶粒から、前記基板面に沿う結晶面を有する微小結晶粒を探索する探索工程と、前記探索された微小結晶粒をＸ線回折測定する測定工程と、を有する、Ｘ線回折測定方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構