適用製品
赤外線検出素子、その製造方法、および赤外線検出装置
目的
安価で暗電流が少なく感度も高い赤外線検出素子および赤外線検出装置を提供する。
効果
安価で暗電流が少なく感度も高い赤外線検出素子および赤外線検出装置を提供することが可能になる。
技術概要
第1の電極層、第1の半導体層、緩衝層、第2の半導体層および第2の電極層が順次積層され、
前記第1の半導体層のバンドギャップは、前記第2の半導体層のバンドギャップより広く、
前記緩衝層は、前記第1の半導体層の格子定数の99%と前記第2の半導体層の格子定数の101%の範囲の格子定数を有し、前記第1の半導体層の格子定数と前記第2の半導体層の格子不整合の8割以上を緩和する層であり、
前記第1の半導体層および前記第2の半導体層の伝導型は同じであり、
前記第2の半導体層はInX(Xは5族の元素)を含む、赤外線検出素子。