紫外発光ダイオードおよびその製造方法

開放特許情報番号
L2024001113
開放特許情報登録日
2024/5/9
最新更新日
2024/5/9

基本情報

出願番号 特願2017-241396
出願日 2013/10/15
出願人 国立研究開発法人理化学研究所
公開番号 特開2018-085520
公開日 2018/5/31
登録番号 特許第6607614号
特許権者 国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称 紫外発光ダイオードおよびその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 高効率化した紫外発光ダイオードおよびその製造方法
目的 低転位に加えて、光取出し効率ηLEEにメリットのある光学的作用、より具体的には、散乱等の光の方向変換作用をバッファー層に発揮させることを可能にすることにより、高効率のDUVLEDの実現する。
効果 バッファー層に光学的な方向変換作用をもたせることにより、光取出し効率ηLEEを高めた紫外LEDが実現される。
技術概要
紫外発光ダイオード100Aは、凸部112の配列が形成された単結晶のサファイア基板110Aと、サファイア基板に形成されたAlN結晶のバッファー層120Aと、バッファー層に接して形成され、n型導電層132、再結合層134、およびp型導電層136をバッファー層の側からこの順に積層して形成されている紫外発光層130を備えている。バッファー層が、複数のピラー124が配列されているピラー配列部124a、およびピラーが互いに結合して形成されている一体化部126を有しており、ピラーのそれぞれは、サファイア基板の凸部それぞれから一方の面104の法線方向に延び、一方の面の面内方向において互いにギャップGにより隔てられている。紫外発光層から放出される光は、バッファー層のピラー配列部およびサファイア基板を通って外部に取り出される。
実施実績 【有】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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