固体撮像素子およびその製造方法
- 開放特許情報番号
- L2024001063
- 開放特許情報登録日
- 2024/5/8
- 最新更新日
- 2024/5/8
基本情報
| 出願番号 | 特願2020-006924 |
|---|---|
| 出願日 | 2020/1/20 |
| 出願人 | 日本放送協会 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2021/8/5 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 日本放送協会 |
| 発明の名称 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
| 技術分野 | 電気・電子 |
| 機能 | 材料・素材の製造 |
| 適用製品 | 固体撮像素子およびその製造方法に関し、特に、光電変換部が結晶セレンおよび酸化ガリウムのＰＮ接合からなる接合型の固体撮像素子およびその製造方法 |
| 目的 | 低電圧でのキャリア増倍を可能としつつ、不純物の添加による暗電流の増加を抑制可能な固体撮像素子およびその製造方法を提供する。 |
| 効果 | 低電圧でのキャリア増倍を可能としつつ、不純物の添加による暗電流の増加を抑制可能な固体撮像素子およびその製造方法を提供することができる。 |
技術概要) |
信号読み出し回路基板上に第１アモルファスセレン膜を形成する工程と、
透明基板上に不純物が添加された酸化ガリウム膜を形成する工程と、 前記酸化ガリウム膜に第１熱処理を施して、前記酸化ガリウム膜を結晶化させる工程と 、 結晶化した前記酸化ガリウム膜上に第２アモルファスセレン膜を形成する工程と、 前記第１アモルファスセレン膜と前記第２アモルファスセレン膜とを接合する工程と、 接合したアモルファスセレン膜に第２熱処理を施して、前記アモルファスセレン膜を結 晶化させる工程と、 を含むことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
|---|---|
その他の情報
| 関連特許 |
|
|---|