| 出願番号 |
特願2011-252456 |
| 出願日 |
2011/11/18 |
| 出願人 |
東京応化工業株式会社 |
| 公開番号 |
特開2013-110195 |
| 公開日 |
2013/6/6 |
| 登録番号 |
特許第5923281号 |
| 特許権者 |
東京応化工業株式会社 |
| 発明の名称 |
基板搬送装置及び基板処理装置 |
| 技術分野 |
機械・加工 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
液晶パネル・半導体デバイスに用いられる基板搬送装置 |
| 目的 |
基板搬送装置の組み立て時の調整時間短縮 |
| 効果 |
シャフトの良好な支持による基板のスムーズな搬送、取り付け作業簡便化、メンテナンス性向上 |
技術概要
|
駆動部と、基板に当接する搬送用コロを有する第１シャフトと、駆動力を第１シャフトに伝える第２シャフトと、第１シャフトを着脱可能にする支持部材と、第２シャフトに対して第１シャフトを着脱する連結部材を備えた基板搬送装置。連結部材は、第１シャフト及び第２シャフトにおける径方向の位置ズレを許容可能とする。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
| 希望譲渡先（国内） |
【可】 |
| 希望譲渡先（国外） |
【可】 |
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| 特許権実施許諾 |
【可】
| 実施権条件 |
応相談 |
| 希望譲渡先（国内） |
【可】 |
| 希望譲渡先（国外） |
【可】 |
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