| 出願番号 |
特願2020-024347 |
| 出願日 |
2020/2/17 |
| 出願人 |
東京応化工業株式会社 |
| 公開番号 |
特開2021-128122 |
| 公開日 |
2021/9/2 |
| 登録番号 |
特許第7474600号 |
| 特許権者 |
東京応化工業株式会社 |
| 発明の名称 |
基板加熱装置および基板処理システム |
| 技術分野 |
機械・加工、有機材料 |
| 機能 |
加熱・冷却、加圧・減圧、機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
基板加熱装置 |
| 目的 |
基板加熱装置の検知部劣化抑制及びに、検知部の変色や劣化に伴う応答性の変化抑制 |
| 効果 |
基板加熱装置の検知部劣化抑制及びに、検知部の変色や劣化に伴う応答性の変化抑制 |
技術概要
|
基板を収容可能なチャンバと、基板の一方面側に配置され、赤外線での基板加熱部と、検知部と、基板収容空間内の検知部を保護し赤外線を吸収する保護部と、を含む基板加熱装置により、検知部の劣化を抑制し、検知部の変色や劣化に伴う応答性の変化を抑制する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
| 希望譲渡先（国内） |
【可】 |
| 希望譲渡先（国外） |
【可】 |
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
| 実施権条件 |
応相談 |
| 希望譲渡先（国内） |
【可】応相談 |
| 希望譲渡先（国外） |
【可】応相談 |
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