基板加熱装置及び基板加熱方法
- 開放特許情報番号
- L2024000961
- 開放特許情報登録日
- 2024/5/1
- 最新更新日
- 2024/5/1
基本情報
出願番号 | 特願2016-167693 | ||||||
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出願日 | 2016/8/30 | ||||||
出願人 | 東京応化工業株式会社 | ||||||
公開番号 | |||||||
公開日 | 2018/3/8 | ||||||
登録番号 | |||||||
特許権者 | 東京応化工業株式会社 | ||||||
発明の名称 | 基板加熱装置及び基板加熱方法 | ||||||
技術分野 | 機械・加工、有機材料 | ||||||
機能 | 加熱・冷却、加圧・減圧、機械・部品の製造 | ||||||
適用製品 | 基板加熱装置 | ||||||
目的 | 基板加熱装置の加熱部の降温タクトタイム短縮化 | ||||||
効果 | 基板の加熱部の降温に要するタクトタイムの短縮化 | ||||||
技術概要 |
溶液を塗布した基板の収容空間の減圧部と、基板の一方側の加熱部と、基板の他方側の赤外線ヒータと、前記加熱部を冷却可能な冷却機構と、を含み、前記冷却機構は、前記加熱部の内部に配置されるとともに、冷媒を通過可能とする冷媒通過部を含む基板加熱装置により、加熱部の降温に要するタクトタイムを短縮化する。 | ||||||
実施実績 | 【無】 | ||||||
許諾実績 | 【無】 | ||||||
特許権譲渡 | 【可】 | ||||||
特許権実施許諾 | 【可】
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登録者情報
登録者名称 | |
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技術供与
ノウハウ提供レベル |
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その他の情報
関連特許 |
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