アライメント方法
- 開放特許情報番号
- L2024000928
- 開放特許情報登録日
- 2024/4/24
- 最新更新日
- 2024/4/24
基本情報
出願番号 | 特願2022-144919 |
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出願日 | 2022/9/12 |
出願人 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 |
公開番号 | |
公開日 | 2024/3/25 |
発明の名称 | アライメント方法 |
技術分野 | 電気・電子 |
機能 | 機械・部品の製造 |
適用製品 | アライメント方法 |
目的 | 高い精度で,対象物を任意の位置にアライメントできるアライメント方法を提供する。 |
効果 | 高い精度で,対象物を任意の位置にアライメントできるアライメント方法を提供できる。 |
技術概要 |
透明基板上に設けられた第1の透明基板上マークと,第1の対象物上に設けられ,前記第1の透明基板上マークと対応したマークである第1の対象物マークとのアライメントを取りつつ,前記透明基板に,前記第1の対象物を吸着させるための工程である第1の吸着工程を含む,アライメント方法。 |
実施実績 | 【無】 |
許諾実績 | 【無】 |
特許権譲渡 | 【否】 |
特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
登録者名称 | |
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その他の情報
関連特許 |
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