アライメント方法

基本情報

出願番号	特願2022-144919
出願日	2022/9/12
出願人	国立研究開発法人情報通信研究機構
公開番号	特開2024-040074
公開日	2024/3/25
発明の名称	アライメント方法
技術分野	電気・電子
機能	機械・部品の製造
適用製品	アライメント方法
目的	高い精度で，対象物を任意の位置にアライメントできるアライメント方法を提供する。
効果	高い精度で，対象物を任意の位置にアライメントできるアライメント方法を提供できる。
技術概要	透明基板上に設けられた第１の透明基板上マークと，第１の対象物上に設けられ，前記第１の透明基板上マークと対応したマークである第１の対象物マークとのアライメントを取りつつ，前記透明基板に，前記第１の対象物を吸着させるための工程である第１の吸着工程を含む，アライメント方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人情報通信研究機構