適用製品
基板上に金属からなるナノワイヤを形成するためのマイクロノズル装置
目的
吸引ノズルの閉塞を防止して、長時間、連続してナノワイヤを形成することが可能なマイクロノズル装置を提供する。
効果
吸引ノズルの閉塞を防止して、長時間、連続してナノワイヤを形成することが可能なマイクロノズル装置を提供することができる。
技術概要
基板上に金属からなるナノワイヤを形成するマイクロノズル装置であって、
一端が吐出開口とされた３本以上の吐出用毛細管と、一端が吸引開口とされた１本以上の吸引用毛細管と、前記吐出用毛細管から流体を吐出させる吐出ポンプと、前記吸引用毛細管から流体を吸引させる吸引ポンプと、を有し、
前記吐出用毛細管のうち、少なくとも１つは金属化合物を含む金属溶液を吐出させるとともに、他の吐出用毛細管のうち、少なくとも１つは、前記金属化合物と反応して金属を析出させる反応液を吐出させ、更に、他の吐出用毛細管のうち、少なくとも１つは、前記吸引用毛細管に吸引された前記金属溶液の残液および前記反応液の残液による固形分の生成を阻害するか、または固形分を溶解する閉塞抑制液を吐出させることを特徴とするマイクロノズル装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
