| 出願番号 |
特願2021-101332 |
| 出願日 |
2021/6/18 |
| 出願人 |
国立大学法人 熊本大学 |
| 公開番号 |
特開2023-000483 |
| 公開日 |
2023/1/4 |
| 登録番号 |
特許第7770008号 |
| 特許権者 |
国立大学法人 熊本大学 |
| 発明の名称 |
加工方法及び加工装置 |
| 技術分野 |
機械・加工、化学・薬品、電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
加工方法及び加工装置 |
| 目的 |
合成石英ガラス等を加工する化学機械研磨にて、簡易な構成でありながら、加工面の表面粗さを短時間で改善することができ、かつ、高能率な加工を実現可能な加工方法及び加工装置を提供する。 |
| 効果 |
合成石英ガラス等を加工する化学機械研磨にて、簡易な構成でありながら、加工面の表面粗さを短時間で改善することができ、かつ、高能率な加工を実現することができる。 |
技術概要
 |
砥粒を含む研磨スラリーに、紫外光を照射し、かつ、オゾンガスを供給して、研磨定盤に設けた所定の研磨パッドに前記研磨スラリーを滴下すると共に、前記所定の研磨パッドを被加工物と接触させた状態で変位させる工程を備える
加工方法。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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