光学測定装置及び光学測定方法

開放特許情報番号
L2024000601
開放特許情報登録日
2024/3/27
最新更新日
2024/3/27

基本情報

出願番号 特願2016-568762
出願日 2016/1/8
出願人 国立大学法人電気通信大学
公開番号 WO2016/111363
公開日 2016/7/14
登録番号 特許第6590344号
特許権者 国立大学法人電気通信大学
発明の名称 光学測定装置及び光学測定方法
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、機械・部品の製造
適用製品 ポンプ光とプローブ光を用いて高解像の測定を行う光学測定技術
目的 フォトサーマル効果による信号の角度依存性を利用して信号強度を向上し、同時に光ノイズを低減する。
効果 特殊な自動バランス検出器を使わずに光ノイズを低減して信号対雑音比の高い光学測定が実現する。また、装置構成が簡素になり、高速測定が可能になる。
技術概要
試料を励起するポンプ光を出力する第1光源と、
プローブ光を出力する第2光源と、
前記ポンプ光と前記プローブ光を試料に導く光学系と、
前記ポンプ光により励起された試料を透過したプローブ信号光を、当該プローブ信号光の径方向に沿って第1セグメントの光成分と第2セグメントの光成分に空間的に分離する光学素子と、
前記第1セグメントの光成分と、前記第2セグメントの光成分の差分を検出するバランス検出器と、
を有することを特徴とする光学測定装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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