分光用デバイス、分光器、及び分光測定方法

開放特許情報番号
L2024000384
開放特許情報登録日
2024/3/5
最新更新日
2024/3/5

基本情報

出願番号 特願2018-007666
出願日 2018/1/19
出願人 国立大学法人電気通信大学
公開番号 特開2019-128157
公開日 2019/8/1
登録番号 特許第7084020号
特許権者 国立大学法人電気通信大学
発明の名称 分光用デバイス、分光器、及び分光測定方法
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 分光用デバイス、分光器、及び分光測定方法
目的 小型且つ高分解能な分光器に適用可能な分光用デバイス、該分光用デバイスを備えた分光器、及び該分光器を用いた分光測定方法を提供する。
効果 超小型且つ高分解能な分光用デバイス、分光器、及び該分光用デバイス及び前記分光器を用いた分光測定方法が提供される。
技術概要
受光面を有する板状の傾斜部と、
支持部材に固定可能に形成された固定部と、
前記傾斜部の外縁端部の少なくとも一部に接続され、前記傾斜部と前記固定部とを接続する接続部と、
前記傾斜部の前記受光面と電気的に接続された電極部と、
を備え、
前記傾斜部、前記固定部、及び前記接続部は半導体基板で構成され、
前記傾斜部は、
前記半導体基板と、
前記半導体基板に積層されて前記半導体基板との界面でショットキー障壁を構成する金属層と、
を有し、
前記金属層の前記半導体基板に接する表面とは反対側の表面を受光面として、前記受光面に所定の波長を有する光が入射した際に前記半導体基板と前記金属層との界面にて表面プラズモン共鳴が生じ、
前記接続部内の第1回転軸を中心として周方向の所定の角度の範囲で前記傾斜部の傾斜角度が変化し、
前記接続部の剛性は前記傾斜部よりも低い、
分光用デバイス。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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