位相差走査透過電子顕微鏡装置
- 開放特許情報番号
- L2024000355
- 開放特許情報登録日
- 2024/2/28
- 最新更新日
- 2024/2/28
基本情報
| 出願番号 | 特願2018-508074 |
|---|---|
| 出願日 | 2017/3/28 |
| 出願人 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2017/10/5 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 |
| 発明の名称 | 位相差走査透過電子顕微鏡装置 |
| 技術分野 | 電気・電子 |
| 機能 | 機械・部品の製造 |
| 適用製品 | 透過電子顕微鏡装置 |
| 目的 | より少ない試料の電子線の被曝を可能にすると共に、選択可能な所望のコントラストで良好な資料の可視化を可能とした操作性にも優れた位相差透過型電子顕微鏡装置を提供する。 |
| 効果 | 試料物体への電子線被曝を抑えつつ、試料物体の電子線の位相変化を画像化し、電子線の位相変化の分布を定量的に計測する位相差走査型の透過電子顕微鏡を提供することが可能となる。 |
技術概要) |
電子銃と、
前記電子銃から放射された電子線を収束する収束光学系と、 前記収束光学系からの電子線を試料に対して水平方向に走査するように偏向するためのスキャニング手段と、 前記スキャニング手段で偏向された電子線を前記試料に照射する対物レンズと、 前記試料を透過した電子線の強度を検出する手段とを備えた走査透過電子顕微鏡装置において、 前記電子銃と前記対物レンズの間の、対物レンズ前方焦点面とは異なった位置に配置され、前記電子銃から放射された電子線を予め設定された比率の主プローブ波と参照波に変換するビームスプリッタを備え、 前記ビームスプリッタは、前記主プローブ波及び前記参照波の少なくとも一方に対し収束もしくは発散のレンズ効果を持ち、かつ、前記主プローブ波と前記参照波の其々に対して異なった焦点距離を有することを特徴とする位相差走査透過電子顕微鏡装置。 |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【有】 |
| 特許権譲渡 | 【否】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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