接合装置および接合方法

開放特許情報番号

L2024000270

開放特許情報登録日

2024/2/14

最新更新日

2024/2/14

基本情報

出願番号	特願2017-186416
出願日	2017/9/27
出願人	大学共同利用機関法人自然科学研究機構
公開番号	特開2019-062106
公開日	2019/4/18
登録番号	特許第7025744号
特許権者	大学共同利用機関法人自然科学研究機構
発明の名称	接合装置および接合方法
技術分野	電気・電子、機械・加工
機能	機械・部品の製造
適用製品	接合装置および接合方法
目的	対向する一対の基板の平行度が高められ、大型の基板でも安定した接合を達成する接合装置および接合方法を提供する。
効果	対向する一対の第一基板と第二基板との平行度を高めることができ、大型の基板でも平行度を容易に確保して安定した接合を達成することができる。
技術概要	第一基板と、前記第一基板と別体の第二基板とを、前記第一基板および前記第二基板の表面を活性化することにより接合する接合装置であって、 軸方向の一方の端部に前記第一基板を保持する第一保持部と、 前記第一保持部と対向して設けられ、前記第二基板を保持する第二保持部と、 自在継手部を挟んで前記第一保持部と一体に接続されている接続保持部と、 前記第一保持部および前記接続保持部を一体に、前記第二保持部に対して接近または離間する方向へ駆動する駆動機構部と、 前記第一保持部に設けられ、前記第一保持部から径方向外側へ突出している鍔形状部と、 前記接続保持部に設けられ、軸方向において両側から前記鍔形状部を挟み込み、前記鍔形状部を収容する収容部と、 前記接続保持部に設けられ、前記第一保持部の軸方向において前記鍔形状部の一方の面に接し、前記鍔形状部を軸方向へ押し付ける押付部材と、 前記接続保持部において前記鍔形状部を挟んで前記押付部材と反対側に設けられ、前記第一保持部の軸方向において前記鍔形状部の他方の面に接し、前記押付部材によって押し付けられる前記鍔形状部を支持する支持部材と、 を備える接合装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者情報

登録者名称	大学共同利用機関法人自然科学研究機構

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【無】