光学測定装置
- 開放特許情報番号
- L2024000249
- 開放特許情報登録日
- 2024/2/9
- 最新更新日
- 2024/2/9
基本情報
出願番号 | 特願2020-147071 |
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出願日 | 2016/1/13 |
出願人 | 国立大学法人電気通信大学 |
公開番号 | |
公開日 | 2020/12/24 |
登録番号 | |
特許権者 | 国立大学法人電気通信大学 |
発明の名称 | 光学測定装置 |
技術分野 | 情報・通信 |
機能 | 機械・部品の製造 |
適用製品 | 球面物体波と球面参照波の光干渉を用いた光学測定装置 |
目的 | 光学測定装置の光学調整を容易にするとともに、装置を小型化する。 |
効果 | 光学測定装置の光学調整を容易にするとともに、装置を小型化することができる。 |
技術概要 |
光源と、
発光された光を、測定対象物に照射させる物体波と、物体波と干渉させるための参照波とに分岐する分岐部と、分岐された物体波又は参照波のいずれか一方の位相を変調する変調器と、物体波及び参照波を球面物体波及び球面参照波に変換して出力する変換部とを備える光導波路と、 測定対象物から反射した球面物体波と、球面参照波とを合成する合成部と、 合成された光の干渉縞を電気信号として受光し、電子計算機に出力する撮像素子と、 を備え、 光導波路 シリコン基板と、 バッファと、 物体波用コアと、 参照波用コアと、 物体波用コア及び参照波用コアの側方及び上方を覆うクラッドと、 を備え、 物体波用コア及び参照波用コアの屈折率は、バッファ及びクラッドの屈折率よりも高く、 物体波用コアと参照波用コアとが、測定対象物に入射する球面物体波と前記球面参照波とが互いになす角度と同じ角度をなして互いに異なる方向に沿って設けられ、 平面視したときに、物体波用コアと参照波用コアとは変換部に近づくにしたがって互いに近づくように形成され、且つ光導波路は物体波用コア及び参照波用コアに平行になるように変換部に向かってテーパー形状を有する、 光学測定装置。 |
実施実績 | 【無】 |
許諾実績 | 【無】 |
特許権譲渡 | 【否】 |
特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
登録者名称 | |
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その他の情報
関連特許 |
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