超短パルスレーザを用いた微細加工方法、導出装置、加工装置および加工物

開放特許情報番号

L2024000149

開放特許情報登録日

2024/3/22

最新更新日

2024/3/22

基本情報

出願番号	特願2017-164136
出願日	2017/8/29
出願人	国立大学法人東京農工大学
公開番号	特開2018-051626
公開日	2018/4/5
登録番号	特許第7083982号
特許権者	国立大学法人東京農工大学
発明の名称	超短パルスレーザを用いた微細加工方法、導出装置、加工装置および加工物
技術分野	機械・加工
機能	機械・部品の製造
適用製品	加工対象物の加工対象面に超短パルスレーザ光を照射して加工対象面にレーザ光の波長よりも短い周期を有する周期構造を形成するレーザ微細加工技術
目的	加工対象物の加工対象面に直線性が高く且つ規則的に配列されたナノメートルオーダーの周期構造を形成するとともに周期構造の周期を制御する。
効果	加工対象物の加工対象面に直線性が高く且つ規則的に配列されたナノメートルオーダーの周期構造を形成するとともに周期構造の周期を制御することが可能となる。
技術概要	加工対象物の加工対象面にレーザ光を照射して前記加工対象面に前記レーザ光の波長よりも短い周期を有する周期構造を形成する加工方法であって、 複数の直線状の溝を含む凹凸構造を前記加工対象面に有する前記加工対象物を用意する第１の工程と、 前記凹凸構造における複数の溝の伸びる方向に応じた偏光方向の偏光を有するレーザ光による超短パルスのレーザパルスを前記凹凸構造に照射して前記加工対象面に前記周期構造を形成する第２の工程と、 前記加工対象物と同じ材質の物体の表面に超短パルスのレーザパルスを照射した場合に、前記物体の表面に形成される微細構造の周期のうち、出現しやすい周期を導出する第３の工程と、を含み、 前記凹凸構造における前記複数の溝の配列周期を、前記第３の工程において導出した周期の整数倍とする 加工方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者情報

登録者名称	国立大学法人東京農工大学

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【無】