水晶振動子

基本情報

出願番号	特願2013-237379
出願日	2013/10/28
出願人	ＫＯＡ株式会社
公開番号	特開2015-089093
公開日	2015/5/7
登録番号	特許第6336737号
特許権者	ＫＯＡ株式会社
発明の名称	水晶振動子
技術分野	電気・電子
機能	機械・部品の製造
適用製品	水晶振動子
目的	Ｑを高くするとともに、電極形成の工数が少なく、生産性の高い水晶振動子を提供する。
効果	特定の厚みの電極を形成すれば良い為、生産性が高い。また電極の幅を変えるためには、半導体製造において従来から利用されているフォトレジストを用いたウェットエッチングまたはリフトオフプロセスによって形成することが可能で、従来よりある設備をそのまま使用することができる。
技術概要	水晶素板の主面に励振用の電極を持った厚み滑り水晶振動子において、前記主面の一主面あるいは両主面の励振用電極上に、外周から中心に向かって徐々に間隔が狭くなるように、複数の凸型電極が形成されていることを特徴とする水晶振動子。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【可】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	ＫＯＡ株式会社