目的
Ｑを高くするとともに、電極形成の工数が少なく、生産性の高い水晶振動子を提供する。
効果
特定の厚みの電極を形成すれば良い為、生産性が高い。また電極の幅を変えるためには、半導体製造において従来から利用されているフォトレジストを用いたウェットエッチングまたはリフトオフプロセスによって形成することが可能で、従来よりある設備をそのまま使用することができる。
技術概要
水晶素板の主面に励振用の電極を持った厚み滑り水晶振動子において、前記主面の一主面あるいは両主面の励振用電極上に、外周から中心に向かって徐々に間隔 が狭くなるように、複数の凸型電極が形成されていることを特徴とする水晶振動子。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
