| 出願番号 |
特願2010-149739 |
| 出願日 |
2010/6/30 |
| 出願人 |
住友大阪セメント株式会社 |
| 公開番号 |
特開2012-012249 |
| 公開日 |
2012/1/19 |
| 登録番号 |
特許第5720128号 |
| 特許権者 |
住友大阪セメント株式会社 |
| 発明の名称 |
六ホウ化ランタン微粒子の製造方法及び六ホウ化ランタン微粒子 |
| 技術分野 |
無機材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
六ホウ化ランタン微粒子（ＬａＢ６）の製造方法、スパッタリングターゲット、電子材料 |
| 目的 |
スパッタリングターゲットとして用いられるＬａＢ6焼結体作製用の原料粉末として好適な、高純度で粒径の小さなＬａＢ6微粒子を生産性よく製造する方法、及び前記用途に好適な高純度で、粒径の小さなＬａＢ6微粒子を提供する |
| 効果 |
スパッタリングターゲットとして用いられるＬａＢ6焼結体作製用の原料粉末として好適な、高純度で粒径の小さなＬａＢ6微粒子を生産性よく製造する方法、及び前記用途に好適な高純度で、粒径の小さなＬａＢ6微粒子を提供する |
技術概要
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六ホウ化ランタン（ＬａＢ6）微粒子の製造方法及びＬａＢ6微粒子に関し、さらに詳しくは、スパッタリングターゲットとして用いられるＬａＢ6焼結体作製用の原料粉末として好適な、高純度で粒径の小さなＬａＢ6微粒子を生産性よく製造する方法、及び前記用途に好適な高純度で、粒径の小さなＬａＢ6微粒子に関するものである。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
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| 特許権実施許諾 |
【可】
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