六ホウ化ランタン焼結体、それを用いたターゲット、六ホウ化ランタン膜、及び該焼結体の製造方法

開放特許情報番号
L2023001381
開放特許情報登録日
2023/12/1
最新更新日
2023/12/1

基本情報

出願番号 特願2012-508125
出願日 2011/2/2
出願人 住友大阪セメント株式会社
公開番号 WO2011/122100
公開日 2011/10/6
登録番号 特許第5761178号
特許権者 住友大阪セメント株式会社
発明の名称 六ホウ化ランタン焼結体、それを用いたターゲット、六ホウ化ランタン膜、及び該焼結体の製造方法
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 六ホウ化ランタン(LaB6)焼結体、スパッタリングターゲット
目的 高純度で緻密であって、結晶性に優れ、かつ仕事関数の良好なLaB6薄膜の製造用のスパッタリングターゲットなどとして好適なLaB6焼結体、それを用いてなるターゲット、前記ターゲットを用いて製膜された六ホウ化ランタン膜、及び前記LaB6焼結体の効果的な製造方法を提供する
効果 高純度で緻密であって、結晶性に優れ、かつ仕事関数の良好なLaB6薄膜の製造用のスパッタリングターゲットなどとして好適なLaB6焼結体、それを用いてなるターゲット、前記ターゲットを用いて製膜された六ホウ化ランタン膜、及び前記LaB6焼結体の効果的な製造方法を提供する
技術概要
 
本発明は、六ホウ化ランタン(LaB6)焼結体、それを用いたターゲット、六ホウ化ランタン膜、及び前記LaB6焼結体の製造方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、高純度で緻密であって、結晶性に優れ、かつ仕事関数の良好なLaB6薄膜製造用のスパッタリングターゲットなどとして好適なLaB6焼結体、それを用いてなるターゲット、前記ターゲットを用いて製膜された六ホウ化ランタン膜、及び前記LaB6焼結体の効果的な製造方法に関するものである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

海外登録国 アメリカ合衆国
その他の提供特許
登録番号1 US9346715B
関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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