適用製品
情報処理装置、情報処理方法、プログラム、及びモニタリングシステム
目的
測定対象となる表面の状態を高精度にモニタリングして、そのモニタリング結果を有効に利用することを可能とする情報処理装置、情報処理方法、プログラム、及びモニタリングシステムを提供する。
効果
測定対象となる表面の状態を高精度にモニタリングして、そのモニタリング結果を有効に利用することが可能となる。
技術概要
測定対象表面となる第１の面と、前記第１の面の反対側の第２の面とを有する透過部材と、
前記透過部材の前記第２の面に１種類以上の第１の電磁波を出射する出射部と、
前記第１の電磁波の出射に応じて前記第２の面から出射される第２の電磁波を検出する検出部と
を有するモニタリング装置と、
前記モニタリング装置により検出された前記第２の電磁波の検出結果に基づいて、前記第１の面に堆積する堆積物に関する堆積物情報を生成する生成部と、
前記堆積物情報に基づいて、前記第１の面に対する前記堆積物の堆積状態に対応するように、前記第１の電磁波の波長、波長帯域、波長幅、強度、偏波状態、又はパルス間隔の少なくとも１つを設定する設定部と
を有するコンピュータと
を具備するモニタリングシステム。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
