短波長コヒーレント光源及び透過型の減光機構

開放特許情報番号

L2023001275

開放特許情報登録日

2023/11/10

最新更新日

2023/11/10

基本情報

出願番号	特願2012-060637
出願日	2012/3/16
出願人	兵庫県公立大学法人、国立研究開発法人理化学研究所
公開番号	特開2013-195535
公開日	2013/9/30
登録番号	特許第6031659号
特許権者	公立大学法人兵庫県立大学、国立研究開発法人理化学研究所
発明の名称	短波長コヒーレント光源及び透過型の減光機構
技術分野	情報・通信、電気・電子
機能	機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品	短波長コヒーレント光源及び透過型の減光機構
目的	高強度なフェムト秒レーザーを利用して発生する高次高調波Ｘ線光源において、透過配置での減光機構により得ようとする波長領域のＸ線を減光することなく励起光成分であるフェムト秒レーザー成分のみを主に減光して、高調波発生により発生されたＸ線を含む多波長コヒーレントビームの中からＸ線を取り出すことで応用研究に供することのできる高次高調波光源及び透過型の光減光機構を提供する。
効果	励起レーザー光と短波長コヒーレント光を含む多波長コヒーレントビームが入射される遮蔽板により、上記多波長コヒーレントビームに含まれる発散角の大きな励起レーザー光を遮蔽し、発散角の小さな短波長コヒーレント光を上記遮蔽板の開口を介して通過させることにより、多波長コヒーレントビームから励起光成分を減光した短波長コヒーレント光を取り出すことができる。 上記開口の下流に同様の開口を設置することで段階的に励起レーザー光の強度のみを低減させることができる。 励起レーザー光のみを減光させることができる。
技術概要	所定の一つまたは複数の中心波長を有する励起レーザー光源と出射された励起レーザー光を集光する集光光学系と、励起レーザー光が集光される集光位置に設けられ、集光された励起レーザー光により励起されて、励起レーザーと同軸上に伝搬する非線形波長変換された短波長コヒーレント光または同軸励起短波長レーザーを発生する短波長コヒーレント光発生手段と、 出射される励起レーザー光と短波長コヒーレント光を含む多波長コヒーレントビームの光軸上に開口を有し、励起レーザー光と短波長コヒーレント光を含む多波長コヒーレントビームが入射される遮蔽板からなる透過型の減光機構とを備え、 遮蔽板は、多波長コヒーレントビームに含まれる発散角の大きな励起レーザー光を遮蔽板により遮蔽し、発散角の小さな短波長コヒーレント光を遮蔽板の開口を介して通過させることにより、多波長コヒーレントビームから励起光成分を減光した短波長コヒーレント光を取り出し、 開口は、励起光成分を減光した短波長コヒーレント光が発生する際の発散角と、短波長コヒーレント光発生手段と遮蔽板の距離との積の３倍と同等又はそれ以下のサイズのピンホールであることを特徴とする短波長コヒーレント光源。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者情報

登録者名称	兵庫県公立大学法人

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【無】