粒子膜積層装置及びこれを用いた粒子膜積層方法

開放特許情報番号

L2023001243

開放特許情報登録日

2023/10/20

最新更新日

2023/10/20

基本情報

出願番号	特願2012-069775
出願日	2012/3/26
出願人	株式会社アツミテック
公開番号	特開2013-199696
公開日	2013/10/3
登録番号	特許第5940335号
特許権者	株式会社アツミテック
発明の名称	粒子膜積層装置及びこれを用いた粒子膜積層方法
技術分野	化学・薬品
機能	表面処理
適用製品	粒子膜積層装置
目的	蒸発して得られたナノ粒子が水素吸蔵合金から生成したものである場合に水素の拡散性がよくなり、また基板に捕集されたナノ粒子が再凝集化することを防止できる粒子膜積層装置及びこれを用いた粒子膜積層方法を提供する。
効果	ナノ粒子が層状に整列されて成膜されるので、水素吸蔵合金からナノ粒子を生成した場合に、ナノ粒子が積層されたものを水素センサとして利用すれば水素の拡散性がよくなる。また、ナノ構造体膜でナノ粒子膜を挟んで担持した積層体は、ナノ粒子がナノ粒子状態のまま安定しているので、粒成長を引き起こすことが防止される。
技術概要	加熱されるべき金属材料が配設され、前記金属材料のナノ粒子が生成するナノ粒子生成室と、 加熱されるべき樹脂材料が配設され、前記樹脂材料のナノ構造体が生成するナノ構造体生成室と、 前記ナノ粒子生成室及び前記ナノ構造体生成室とそれぞれ粒子連通管及び構造体連通管を介して接続され、基板に対して前記ナノ粒子及び前記ナノ構造体を成膜して積層する積層室と、 該成膜室内で前記ナノ粒子が成膜されるナノ粒子成膜領域と、 前記成膜室内で前記ナノ構造体が成膜されるナノ構造体成膜領域と、 前記基板を前記ナノ粒子成膜領域と前記ナノ構造体成膜領域との間を移動させる移動ユニットと、 前記積層室を排気する排気ユニットと、 前記ナノ粒子生成室及び前記ナノ構造体生成室にそれぞれ冷却ガスを導入する冷却ガス導入ユニットとを備えたことを特徴とする粒子膜積層装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者情報

登録者名称	株式会社アツミテック

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【有】
追加情報	パテントファミリー単位でのライセンスとなります。