水素ガス濃度センサ及び水素ガス濃度測定装置

開放特許情報番号

L2023001234

開放特許情報登録日

2023/10/19

最新更新日

2023/10/19

基本情報

出願番号	特願2006-219832
出願日	2006/8/11
出願人	株式会社アツミテック
公開番号	特開2008-045917
公開日	2008/2/28
登録番号	特許第4928865号
特許権者	株式会社アツミテック
発明の名称	水素ガス濃度センサ及び水素ガス濃度測定装置
技術分野	電気・電子
機能	検査・検出
適用製品	水素ガス濃度センサ及び水素ガス濃度測定装置
目的	広い測定範囲で高い測定精度を維持できる水素ガス濃度センサ及び水素ガス濃度測定装置を提供する。
効果	光触媒作用によって、広い測定範囲において高い測定精度を維持できる。また、水素ガス濃度センサ若しくは水素ガス濃度測定装置に異常があることを迅速に発見できる。
技術概要	本発明にかかる水素ガス濃度センサは、基板と、該基板上に隣接して形成された複数の水素検知膜とを有し、これら複数の水素検知膜は、薄膜層と該薄膜層の表面に形成された触媒層とを有している。各触媒層は、水素ガスに触れると光触媒作用で各薄膜層を可逆的に水素化して電気的抵抗値を可逆的に変化させ、各薄膜層は、水素ガス濃度変化対抵抗値変化の感度と水素ガス濃度測定範囲が相違する。したがって、本発明にかかる水素ガス濃度センサ及び水素ガス濃度測定装置は、水素ガス濃度が低い場合には、感度が高い薄膜層で、水素ガス濃度が高い場合には、測定範囲が広い薄膜層で、高精度かつ広範囲に水素ガス濃度を測定できる。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者情報

登録者名称	株式会社アツミテック

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【有】
追加情報	パテントファミリー単位でのライセンスとなります。