薄板保持具
- 開放特許情報番号
- L2023000872
- 開放特許情報登録日
- 2023/7/13
- 最新更新日
- 2023/7/13
基本情報
| 出願番号 | 特願2014-214297 |
|---|---|
| 出願日 | 2014/10/21 |
| 出願人 | 信越ポリマー株式会社 |
| 公開番号 | |
| 公開日 | 2016/5/16 |
| 登録番号 | |
| 特許権者 | 信越ポリマー株式会社 |
| 発明の名称 | 薄板保持具 |
| 技術分野 | 電気・電子 |
| 機能 | その他 |
| 適用製品 | 半導体チップ、半導体ウェーハ等の薄板 |
| 目的 | 薄板が破損することのない薄板保持具の提供 |
| 効果 | スペーサ部をエラストマーで形成することにより、押圧された際、部分的に押圧されることがない為、保持中に薄板が破損しない |
技術概要) |
スペーサ部をエラストマーで形成することで、ウェーハのバックグラインド時等、押圧下で薄板を処理する際、スペーサ部分とその周囲とで押圧が生じないよう、粘着保持層とスペーサのデュロメータA硬度の差が０〜３０の範囲の粘着タイプの薄板保持具 |
| イメージ図 | |
| 実施実績 | 【無】 |
| 許諾実績 | 【無】 |
| 特許権譲渡 | 【可】 |
| 特許権実施許諾 | 【可】 |
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登録者情報
| 登録者名称 | |
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その他の情報
| 関連特許 |
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