薄板保持具
- 開放特許情報番号
- L2023000872
- 開放特許情報登録日
- 2023/7/13
- 最新更新日
- 2023/7/13
基本情報
出願番号 | 特願2014-214297 |
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出願日 | 2014/10/21 |
出願人 | 信越ポリマー株式会社 |
公開番号 | |
公開日 | 2016/5/16 |
登録番号 | |
特許権者 | 信越ポリマー株式会社 |
発明の名称 | 薄板保持具 |
技術分野 | 電気・電子 |
機能 | その他 |
適用製品 | 半導体チップ、半導体ウェーハ等の薄板 |
目的 | 薄板が破損することのない薄板保持具の提供 |
効果 | スペーサ部をエラストマーで形成することにより、押圧された際、部分的に押圧されることがない為、保持中に薄板が破損しない |
技術概要![]() |
スペーサ部をエラストマーで形成することで、ウェーハのバックグラインド時等、押圧下で薄板を処理する際、スペーサ部分とその周囲とで押圧が生じないよう、粘着保持層とスペーサのデュロメータA硬度の差が0〜30の範囲の粘着タイプの薄板保持具 |
イメージ図 | |
実施実績 | 【無】 |
許諾実績 | 【無】 |
特許権譲渡 | 【可】 |
特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
登録者名称 | |
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その他の情報
関連特許 |
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