薄板保持具

開放特許情報番号
L2023000872
開放特許情報登録日
2023/7/13
最新更新日
2023/7/13

基本情報

出願番号 特願2014-214297
出願日 2014/10/21
出願人 信越ポリマー株式会社
公開番号 特開2016-082146
公開日 2016/5/16
登録番号 特許第6280019号
特許権者 信越ポリマー株式会社
発明の名称 薄板保持具
技術分野 電気・電子
機能 その他
適用製品 半導体チップ、半導体ウェーハ等の薄板
目的 薄板が破損することのない薄板保持具の提供
効果 スペーサ部をエラストマーで形成することにより、押圧された際、部分的に押圧されることがない為、保持中に薄板が破損しない
技術概要
スペーサ部をエラストマーで形成することで、ウェーハのバックグラインド時等、押圧下で薄板を処理する際、スペーサ部分とその周囲とで押圧が生じないよう、粘着保持層とスペーサのデュロメータA硬度の差が0〜30の範囲の粘着タイプの薄板保持具
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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