水素センサー及び水素検出方法

開放特許情報番号
L2023000684
開放特許情報登録日
2023/6/16
最新更新日
2023/6/16

基本情報

出願番号 特願2021-503505
出願日 2020/2/14
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 WO2020/179400
公開日 2020/9/10
登録番号 特許第7078304号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 水素センサー及び水素検出方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 水素センサーを使用した水素検出方法
目的 感度を向上させることにより測定データのS/N比や特に低濃度域での測定結果の安定性を向上させる。
効果 簡単な構成かつ低コストでありながら、高感度で低ヒステリシス特性を有する水素センサー及びこの水素センサーを使用した水素検出方法が提供される。
技術概要
膜型表面応力センサーの表面応力を受け取る表面に感応膜として非晶質のパラジウム−銅−シリコン合金薄膜を設けた水素センサー。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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