水素センサー及び水素検出方法

基本情報

出願番号	特願2021-503505
出願日	2020/2/14
出願人	国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号	WO2020/179400
公開日	2020/9/10
登録番号	特許第7078304号
特許権者	国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称	水素センサー及び水素検出方法
技術分野	情報・通信
機能	検査・検出
適用製品	水素センサーを使用した水素検出方法
目的	感度を向上させることにより測定データのＳ／Ｎ比や特に低濃度域での測定結果の安定性を向上させる。
効果	簡単な構成かつ低コストでありながら、高感度で低ヒステリシス特性を有する水素センサー及びこの水素センサーを使用した水素検出方法が提供される。
技術概要	膜型表面応力センサーの表面応力を受け取る表面に感応膜として非晶質のパラジウム－銅－シリコン合金薄膜を設けた水素センサー。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人物質・材料研究機構