水素センサー及び水素検出方法
- 開放特許情報番号
- L2023000684
- 開放特許情報登録日
- 2023/6/16
- 最新更新日
- 2023/6/16
基本情報
出願番号 | 特願2021-503505 |
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出願日 | 2020/2/14 |
出願人 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
公開番号 | |
公開日 | 2020/9/10 |
登録番号 | |
特許権者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
発明の名称 | 水素センサー及び水素検出方法 |
技術分野 | 情報・通信 |
機能 | 検査・検出 |
適用製品 | 水素センサーを使用した水素検出方法 |
目的 | 感度を向上させることにより測定データのS/N比や特に低濃度域での測定結果の安定性を向上させる。 |
効果 | 簡単な構成かつ低コストでありながら、高感度で低ヒステリシス特性を有する水素センサー及びこの水素センサーを使用した水素検出方法が提供される。 |
技術概要![]() |
膜型表面応力センサーの表面応力を受け取る表面に感応膜として非晶質のパラジウム−銅−シリコン合金薄膜を設けた水素センサー。 |
実施実績 | 【無】 |
許諾実績 | 【無】 |
特許権譲渡 | 【否】 |
特許権実施許諾 | 【可】 |
登録者情報
登録者名称 | |
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その他の情報
関連特許 |
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